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设备概述
IC固晶是半导体封装的关键设备,主要用于将芯片(Die)从晶圆(Wafer)上精确拾取并贴装到基板上,然后通过银胶(Epoxy)、共晶焊接(Eutectic Bonding)或激光焊接等方式固定。
行业面临的挑战
提速遇到瓶颈,UPH难以提升
定位精度+力控精度
定位偏差<±20um,力控最高精度要求精度2g
设备高速抖动大
影响固晶良率和机械寿命
对成本与安装空间有要求
轴数30+轴以上,IO多
方案架构
方案特点
通讯耗时低
总线指令耗时低、主控运行周期短
定位精度高
伺服超级追踪功能,快速响应
柔性启停
提供软启动、软着陆及高阶速度曲线
调试便利
调试便利性,EtherCAT组网通讯参数批量下载
实现价值
01
机台稳定性振幅降低10%
02
飞拍功能缩短30%
03
UPH提升10%
04
指令耗时缩短10倍
方案核心产品
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